卓越した技を結集している優れた製品

サーパス工業株式会社では、卓越した技を結集して、優れた製品を作り上げています。

メディカル、バイオ、次世代の半導体などの分野で難しいと言われていた微小流量の調整と計測を可能にした製品は、大きな注目を集めています。

サーパス工業株式会社は、フッ素樹脂製液体コントロール分野においての経験から、多くのノウハウを結集させて、タイムオブフライト式の微小流量計を開発しています。

この微小流量計は、ストレート構造を採用しています。

そのため、デットボリュームが少ないのです。

従来の超音波式や着圧式の流量計では想定できない、微小な流量を測定できます。

マーカーがヒーターでパルス状に加熱され、移動するのを温度センサーが検知し、検知信号によって移動時間を計算します。

そして、移動時間をもとに流量へ換算するのです。

センサーチップを取り付けた部材や内部のコアな部分には、石英ガラスが使われています。

外部と接続する部分にはテフロン樹脂を採用しており、金属フリーとなっているため、幅広い分野で利用することができます。